تايوان تطور طلاءً متخصصًا لحماية رقائق السيليكون أثناء التحليل

أعلن المعهد الوطني للأبحاث التطبيقية (National Institutes of Applied Research – NIAR)، يوم الثلاثاء، عن تعاونه مع شركة Material Science Service Company (MSS) لتطوير واستخدام تقنية طلاء متخصصة تساعد على تثبيت رقائق السيليكون (Wafers) والحفاظ على بنيتها أثناء إجراء التحليلات المادية اللازمة لفحص جودة التصنيع.

ويأتي هذا التطور في وقت تدفع فيه تقنيات تصنيع أشباه الموصلات ذات الأبعاد المتقلصة الشركات المصنعة إلى تطوير تقنيات الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية القصوى ذات الفتحة العددية العالية (High-NA EUV). وتعتمد هذه العمليات على مواد مقاومة للضوء من أكاسيد المعادن (Metal Oxide Photoresists)، بهدف إنتاج أنماط دوائر إلكترونية أكثر دقة على رقائق السيليكون.

وأوضح المعهد، في بيان صحفي، أن هذه التقنية لا تزال قيد التطوير، وتتطلب متطلبات هيكلية دقيقة للغاية. كما تستلزم عملية التصنيع تقطيع رقائق السيليكون وفحص مقاطعها للتحقق من وجود أي عيوب قد تظهر بعد المعالجة.

لكن المعهد أشار إلى أن تقطيع الرقاقة قد يؤدي إلى إتلاف بنيتها النانوية والواجهات الفاصلة بين المواد المختلفة، ما قد يؤثر في دقة نتائج التحليل. ولمعالجة هذه المشكلة، طبق الفريق البحثي طبقة طلاء رقيقة على الرقاقة قبل تقطيعها، بهدف تعزيز استقرار بنيتها والحفاظ على خصائصها الهيكلية أثناء الفحص.

طلاء متخصص لتعزيز دقة تحليل رقائق السيليكون

وقال Tsai Hung-yin، رئيس NIAR، إن عمليات الحفر (Etching) تمثل جانبًا واحدًا فقط من عملية التصنيع، بينما لا تقل أهمية عنها عمليات التحقق من الجودة. وأوضح المعهد أن تحليل المواد يُعد خطوة أساسية لضمان مطابقة رقائق السيليكون للمعايير المطلوبة.

وأشار المعهد إلى أن المركز الوطني لأبحاث الأجهزة (National Center for Instrumentation Research) يستخدم تقنية الترسيب بالطبقات الذرية (Atomic Layer Deposition – ALD) لتكوين طبقة الطلاء المتخصصة. وفي هذا الإطار، استعانت شركة MSS بمعدات ALD مخصصة، جرى تطويرها داخل المركز، لاختبار مواد مختلفة وتقييم مدى ملاءمتها لهذه العملية.

شراكة للتحقق من جاهزية التقنية للإنتاج

من جانبها، أعلنت شركة MSS عن اعتزامها التعاون مع NIAR في عمليات التحقق من صلاحية التقنية للإنتاج (Production Verification)، بهدف تقييم إمكانية تطبيقها ضمن بيئات التصنيع الفعلية.

وقال Liu Chi-lun، رئيس مجلس إدارة MSS، إنه متفائل بآفاق هذه التقنية، مشيرًا إلى أن الشركة تلقت بالفعل طلبات من كبرى الشركات العالمية المصنعة لمعدات أشباه الموصلات.